XY測量范圍

50*50m

100*100mm

200*100mm

200*170mm

300*170mm

400*200mm

數(shù)顯計器

2軸

2軸

2軸

2軸

2軸

2軸

分辯率

0.001mm/0.0005mm/0.001mm(可轉(zhuǎn)換)

測量精度（20℃時）

(2.5+0.02L)um L=無負載測量長度（mm）

測量裝置

內(nèi)置光柵尺

XY移動范圍

50*50mm

100*100mm

200*100mm

200*170mm

300*170mm

400*200mm

工作臺面尺寸

280*280mm

280*280mm

350*280mm

410*342mm

510*342mm

610*342mm

載物玻璃有效尺寸

180*180mm

180*180mm

250*150mm

270*240mm

370*240mm

440*240mm

旋轉(zhuǎn)功能

—

—

—

±5°（左）

±5°（左）

±3°（左）

大工件重量

10kg

20kg

15kg

大工件高度

150mm

220mm

顯微鏡光管

可選擇單目目鏡和雙目目鏡（俯角：25°）、十字投影法、帶有TV安裝座、光通比（目鏡/CCD相機：50/50固定）

目鏡（選件）

10×（視野范圍：24mm）、15×（視野范圍：16）、20×（視野范圍：12）

物鏡

1×，3×*，5×，10×，20×，50×，100×(帶*標準附件)

透射照明

科勒照明，12V/50W鹵素?zé)?，帶有可調(diào)孔徑光闌（無級亮度調(diào)節(jié)）

反射照明

遠心照明，12V/50W鹵素?zé)?，帶有可調(diào)孔徑光闌（無級亮度調(diào)節(jié)）

數(shù)據(jù)輸出

通過RS-232C端口

顯微鏡電源

100/110/120/220/230/240V AC，50/60Hz，160W